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遼寧氣體高純氮化學氣相淀積時的載氣

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遼寧氣體高純氮化學氣相淀積時的載氣

發布日期:2017-08-28 作者: 點擊:

遼寧氣體高純氮概述說明、性質、作用及用途: 純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

當前純氮氣主要應用于油田注氮、石油化工、合成纖維、合成氨、浮法玻璃、軋鋼和電子工業等領域。

油田注氮的制氮裝置規模最大,國外最大已有31萬Nm3/h,氮氣產品純度要求氧氣含量低于10ppm,產品壓力一般在300∽400bar,生產過程允許有短暫中斷,要求有少量液氮儲備;石油化工、合成纖維、合成氨、浮法玻璃、軋鋼等的制氮裝置規模一般是從幾千到幾萬不等,產品純度為要求含氧2∽100ppm,產品壓力一般在1.35∽31bar,有些設備需要有備用液氮,要求保證不間斷的產品供應。

電子工業的制氮裝置規模較小,一般是從幾百到幾千,但是產品純度要求最高,通常對氧含量要求低于1ppm,同時對產品中CO和H2的含量有較高要求。產品壓力在3∽10bar,要求產品供應不間斷,有備用液氮。

制氮行業經過了幾十年的蓬勃發展,不管從規模以及產品要求上都上了一個臺階,針對不同規格的產品,目前國內外已經開發出了與其相適應的制氮流程。

產品氮氣在5到8bar之間時有兩種方案:

第一種方案:返流膨脹流程,膨脹機增壓端增壓產品氮氣或者正流空氣。

第二種方案:正流膨脹流程,膨脹機增壓端增壓產品氮氣或者正流空氣,外加產品氮壓機壓縮,壓力高時這種流程優勢大。

遼寧氣體

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